正航仪器介绍气体捕集式真空泵
时间:2015-12-15 作者:网络编辑 点击:次
♧ 体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内外表上的真空泵,可分以下几种型式吸附泵,它是依托具有大外表积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附效果来抽气的一种捕集式真空泵。
♧ 吸气剂泵,它是一种使用吸气剂以化学方法捕获气体的真空泵,吸气剂一般是以块状或堆积新鲜薄膜方法存在的金属或合金。
♧ 例如钛提高泵和锆铝吸气泵归于这种类型。
♧ 吸气剂离子泵,它是使被电离的气体经过电场或电磁场的效果吸附在吸气资料的外表上,以到达抽气意图的。
♧ 它有如下两种型式:
♧ 蒸腾离子泵:泵内被电离的气体吸附在以接连或接连方法提高(或蒸腾)而覆在泵内壁的吸气资料上,以完成抽气的一种真空泵例如轨旋式离子泵(或称弹道式钛泵)。
♧ 溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极接连溅散出来的吸气资料上以完成抽气意图的一种真空泵泵,它是使用低温外表捕集气体的真空泵。
♧ 下面介绍几种典型的气体捕集式真空泵。