☏ 概述

☆ 何为真空测量

☆ 真空测量即是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体淡薄程度。以压力表明真空度是由于历史上沿袭下来的，并不非常合理。

☆ 压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应真空测量包含全压力测量、分压力测量和真空计校准三个有些。

☆ 用以勘探低压空间淡薄气体压力所用的仪器称为真空计这篇文章所述压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。

☆ 压力是一个力学量，为单位面积所接受的力大气压力为101325Pa，直接测量这么大的压力是简单的，但在真空技能中，测量这么大的压力是比较少的。

☆ 真空技能中遇到的气体压力都很低，如有时要测lO-10pa的压力，这么极小的压力用直接测量单位面积所接受的力是不可能的。

☆ 因而，测量真空度的方法通常是在气体中构成必定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法直接断定出实在压力来。

☆ 真空计品种繁复，作业原理各异，除极少数几种是直接测量压力外，其它简直都是直接测量压力的。

被测量气体除少数状况外，多为混合气体。

☆ 上述压力测量是指混合气体全压力测量在近代真空测量技能中，分压力测量越来越重要。这儿所说的分压力测量是指全部地测出混合气体各构成成分的分压力这么，混合气体的全压力就等于其各构成成分的分压力之和。

☆ 现代分压力真空计都归于电离类，即先将气体电离，然后将所得的各成分离子加快，再把离子引入分析器，将离子分隔，别离测出各成分离子流强度，便可知气体的 成分和数量。

☆ 分析器有磁的、电的、电磁联系和其它方法等有时只需知晓被测体系剩余气体成分和相对含量，并不请求测出分压力值，这种仪器称为剩余气体分析 仪。

☆ 准确的压力测量有必要对真空计进行校准、由于大都真空计是经过与压力有关的物理量来直接反响压力，而不能直接经过真空计有关参数计算求 得压力值。

☆ 这种真空计有必要用规范真空计或能发生已知低压的校准设备进行校准。可以说，真空计校准是真空测量的根底，是开展真空测量的有力东西。

☆ 真空计量用具分三类：计量基准用具、计量规范用具和作业计量用具前两类用于复现和传递真空度量值，一致全国真空量值；然后一类是在现场使用三种计量用具的不断定度顺次下降。

☆ 真空度的表征及单位：用压力表明真空度是由历史上选用U型压力计测量真空所构成的，这并不非常合理。

☆ 在通常真空体系中，通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表明真空度，因而，真空度的测量仅仅归结于压力的测量。但格外应留意测量条件。

☆ 测量的对象是在有限的容器内、停止(随机运动)、稳态、各向同性单一的中性氛围在这种状况下，麦克斯威速度散布、余弦散射规律和流体静力学压力概念( p = nkT，v = 1/4nc，p = ρgh)都较好地契合客观实践，真空度的测量也比较简单简单。

☆ 依据真空度界说，真空度最佳 用分子密度n表明，而以压力表明真空度与此并不矛盾。测量压力时，通常气体处于平衡态并满意麦克斯威速度散布规律，即 p = nkT 建立。

☆ 测量时气体温度T必定，所以气体压力p正比于分子密度n也即是说，此刻压力是分子密度的测量，所以可以用压力表明真空度。

☆ 在空间研讨中，研讨对象是无限空间运动(1～lOkm·s-1或更高)、非稳态、归纳环境效果下的杂乱氛围，此刻麦克斯威速度散布规律和余弦散射规律就不必定建立，所以压力也失掉了本来的物理含义，真空度的测量比较杂乱和困难了。

☆ 在通常状况下，以压力表明真空度是盛行、沿袭的，但也不是仅有的，还可以用如下参数表明真空度：

当真空度很高时，即分子密度很小时，计算涨落非常显着，如压力 p = 10-12pa时，计算涨落已大于5×10-2，压力已失掉实在含义。

☆ 由此看来，在某些状况下，压力仅仅其它量的相对指示罢了依据气体分子对外表磕碰而界说的气体压力，是磕碰单位外表积气体分子动量笔直重量的时刻改变率，即单位面积上所受的力，单位为“帕斯卡”(Pascal)，简称“帕”(Pa)。

☆ 在工程上有时嫌帕的量值太小，常选用kPa和MPa表明压力低真空时，有时用“真空度百分数”表明，比如水环式真空泵、往复式真空泵和直排大气罗茨真空泵常用此单位表明真空度当压力p>102Pa时，真空度百分数δ为。