真空技术 术语
1、范围
本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空军及有关术语、真雪计术语、真空系统且有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷陈干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。
2、一般术语
2.1标准环境条件standard ambient conditions
温度: 20"C
相对温度: 65%
干燥空气大气压力: 101 325 Pa= 1 013.25 mbar
2.2棉准气体就牵standard reference conditions for gases
温度:O 'C
压力: 101 325 Pa
2.3真空vacuum
用来描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。
2.4真空区域rang囚。r vacuum
事实上根据一定的E力间隔，划分了不同的真空范围或真空度。而在选定真空度在围时，会有所不同，下面所列为大致认可的典型真空度范围z
2.5                             
105 Pa~10z Pa    低(粗)真空
102 Pa~ 10-1 Pa   中真空                      
10-1 Pa~ 10-5 Pa   高真空(HV)            
<10-' Pa           超高真空(UHV)
2.6压力pressure( 符号:þ; 单位:Pa)
的气体作用于表面上的压力pressure of a gas on a boundary surface
气体作用于表面上力的法向分量除~~i主面积(如果存在气体流动，规定表面方向与气体流动方向相对应)
b) 气体中某一特定点的压力pressure at a specified point in a gas
气体分子通过位于特定点的小平面时，其在小平面法向上的动量变化率除以i主面担(如果存在气体
流动，规定平面方向与气体施动方向相对应)。
2.7
注:当在静止气体中使用术语"压力"时.是指气体稳态下流动的静压力。
2.8帕斯卡pascal(符号:Pa)
压力单位名称，其值等于每平方米一牛顿的作用力(国际单位制中的E 力单位L
注:其他压力单位见附录A. 但不推荐使用。
2.9分压力partial pressure
( 如果B 为特定成分，其梓号为PB : 单位:Pa)气体提合物中某一特定组分的压力。
2.10全压力total pressure( 单位:Pa)
当"压力"不能明确区分分压力和它们之和之间的区别时，常用来表示气体提合物所有组分分压力之和。
2.11真空JJt degree of vacuum
在示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。
2.12气体gas
不受分子间力约束，能自由占据在意达空间的物质。
注：在真空技术中.“气体”已泛指挚可凝性气体和蒸气。
2.13非可凝性气体non-cond,ensable gas
温度处在临界温度之上的气体，即单纯增加压力不能使其凝结的气体。
2.14蒸气vapour
面度处在临界温度以下的气体，即单纯增加压力就能使其凝结的气体。
2.15饱和蒸气压Sjllnra1ion vapour pressure( 符号:PL: 单位:Fa.)
在给定温度下，蒸气与其凝聚相处于热力平衡时蒸气的压力。
2.16饱和度degree of saturation
蒸气压力与它的饱和蘸气压力之比。
2.17饱和蒸汽saturated Y8pour
在给定温度下.压力等于其饱租蒸气压的蒸气。当蒸气与物质的凝聚相处于热力学平衡时，蒸气始终处于饱和状态。
2.18未饱和蒸气unsaturated vapour
在给定温度下，蒸气压力低于其饱和蒸气压的蒸气。