正航介绍---真空系统特性参量
1、抽气最置的抽速
在抽气装置进气口处测得的抽速。
2、抽气装置的抽气量
流经抽气装置进气口处的气体流量。
3、真空系统的股气事
由真空系统内部所有表面解吸气体所产生的气体流量.
注:在真空系统内部经常出现一种漏气假象，这种情况叫做"虚漏"。
4、真空系统的漏气率
由于南气渗入到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。
5、真空害器的升压率
在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内，真空容器的压力升高量除以读时间间隔之商。该商有可能不是恒定的。
6、极限压力
泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。
7、残余压力
经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体提合物(珑余气体)的全庄，在某些情况下残余压力等于极限压力。
注2 在真空技术中，“气体”一词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸气。
8、粗抽时间
前级真空泵或前组真空抽气机组从大气压抽至本底压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的启动压力所需要的时间。
9、抽气时间
将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到本底压力所需要的时间。
10、真空系统逝气时间
经过规定的装置放人的空气使真空系统(或真空容器)内的压力由工作压力升高到较高的压力(一
般到大气压)所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作"通大气时间"。
11、真空容器；真空窒
根据力学计算能允许容器的压力低于环境压力的真空密封容器。
12、真空钟罩
借助于一个可拆卸的连接部件，将其放置到另一个组件(一般来说是一块底板)上并同这个组件共同组成一个真空室的钟罩形组件。
13、真空容器底板
真空容器底板通常位于真空设备抽气系统进气口上并包含有实施过程所必要的真空室引人线。
14、真空岐管
可以和两个或若干个真空容器相连可以同时进行抽气的一种真空密封分配件。
15、真空闸室
连接在两个不同压力空间之间的真空室。它具有能与这个或那个相接的空间相适应压力的连接装置和能将物件从这个空间输送到那个空间而在这些空间中压力不发生干扰性变化的开孔(全部或部分可以关闭)。一般来说这些装置和开孔用于将物件从大气送入到真空容器中或从真空容器中取出到大气中。